INFICON SKY® CDG100D

Thương hiệu / Brand

Trademark: Inficon

Origin: Châu Âu

Tình trạng

Mới 100%

Bảo hành

Tiêu chuẩn NSX

CHAT ZALO TƯ VẤN

BÁO GIÁ & TÀI LIỆU

✓ Đối tác ủy quyền chính hãng tại Việt Nam.

✓ Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu tận nhà máy.

✓ Bảo hành & Hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn toàn cầu.

ĐẦU ĐO ĐIỆN DUNG INFICON SKY® CDG100D

Đầu đo điện dung INFICON SKY® CDG100D là sự lựa chọn tuyệt vời để đo áp suất tổng và giúp bạn dễ dàng kiểm soát. CDG100D được kiểm soát ở nhiệt độ 100 độ C để đảm bảo hiệu suất vượt trội trong các quy trình bán dẫn và plasma khắc khe. Thiết bị được trang bị quãng đo rộng từ 100mTorr cho đến 1000Torr, phù hợp với mọi loại mặt bích và giao diện fieldbus, cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính từ 0 đến 10V, không kén loại khí nào.

CDG100D sử dụng màng chắn bằng sứ alumina siêu tinh khiết chống ăn mòn. Cảm biến được làm từ gốm giúp ổn định tín hiệu tốt hơn, khả năng tái tạo nhanh hơn từ khí quyển, thời gian khởi động ngắn và tuổi thọ sử dụng vượt trội. Dòng sản phẩm đầu đo điện dung INFICON CDG là cảm biến áp suất chất lượng cao cho các ứng dụng bán dẫn, plasma và chân không. Sản phẩm đảm bảo các tiêu chuẩn khắt khe và giúp tiết kiệm chi phí trong quá trình sử dụng.

Ưu Điểm

CoO thấp hơn (chi phí sở hữu), khởi động nhanh hơn 50%, tiết kiệm năng lượng tiêu thụ điện năng thấp
Tích hợp dễ dàng, phù hợp nhiều kích thước, mặt bích và giao diện đầy đủ, tiêu chuẩn với hai điểm thiết lập
Tính năng trả về tín hiệu 0 chỉ với một nút bấm hoặc điều khiển từ xa dễ dàng, có thể điều chỉnh độ chênh lệch 0
Cổng chẩn đoán để bảo trì và bảo dưỡng nhanh chóng
Bảo hành hai năm, thời gian sử dụng lâu hơn với công nghệ làm nóng tiên tiến và bảo vệ máy đo
Không phải hiệu chuẩn lại trong thời gian dài do tín hiệu ổn định và khả năng lặp lại tuyệt vời, ngay cả trong các ứng dụng plasma khắc nghiệt
Tuân thủ các tiêu chuẩn: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Ứng dụng

Etch, CVD, PVD và các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác
Các quá trình nhiệt độ cao ăn mòn và hóa chất
Quy trình chân không và màng mỏng chung yêu cầu bảo vệ máy đo

—-

Hystrong là Nhà Phân phối các thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam, với đội ngũ Kỹ Thuật Viên kinh nghiệm.
Liên hệ CTS Việt Nam để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

Thông Số Sản Phẩm

Temperature effect
Type		1000 … 500 Torr / mbar	200 … 1 Torr / mbar	0.5 … 0.1 Torr / mbar
Accuracy (1)	% of reading	0.2	0.2	0.4
on zero	percent FS/°C	0.0025	0.0025	0.005
on span	% of reading / °C	0.02	0.02	0.02
Pressure, max.	kPa (absolute)	400	260	130
Resolution	percent FS	0.003	0.003	0.003
Lowest reading	percent FS	0.01	0.01	0.01
Lowest suggested reading	percent FS	0.05	0.05	0.05
Lowest suggested control pressure	percent FS	0.5	0.5	0.5
Temperature
Operation (ambient) (5)	°C	+10 … +50	+10 … +50	+10 … +50
Bakeout at flange	°C	≤110	≤110	≤110
Storage	°C	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65
Supply voltage		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Power consumption
During Heat up	W	≤15	≤15	≤15
At operating temperature	W	≤10	≤10	≤10
Output signal (analog)	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10
Response time (2)	ms	30	30	130 / 30 ⁽³⁾
Degree of protection		IP 40	IP 40	IP 40
Standards
CE conformity	CE conformity	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL certification	ETL certification	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI compliance (5)	SEMI compliance (5)	SEMI S2	SEMI S2	SEMI S2
Electrical connection		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
Setpoint
Number of setpoints	Number of setpoints	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
Relay contact		≤30	≤30	≤30
Hysteresis	percent FS	1	1	1
Diagnostic port
Protocol	Protocol	RS232-C	RS232-C	RS232-C
Read	Read	pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
Set	Set	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materials exposed to vacuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
Internal volume
I. volume 1/2” tube	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
I. volume DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
I. volume DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
I. volume 8 VCR®	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
Weight
Weight 1/2” tube	g	837	837	837
Weight DN 16 ISO KF	g	852	852	852
Weight DN 16 CF-R	g	875	875	875
Weight 8 VCR®	g	897	897	897
EtherCAT
Protocol EtherCAT	Protocol EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
Communication standards	Communication standards	ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge	ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge	ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Node address	Node address	Explicit Device Identification	Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
Physical layer	Physical layer	100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read	Digital functions read	pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
Digital functions set	Digital functions set	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Mailbox (CoE)	Mailbox (CoE)	SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
Process data	Process data	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT connector	EtherCAT connector	2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable	Cable	shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
Cable length	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)	≤100 (330)
Signal processing time	ms	2	2	2
Profinet
Communication protocol	Communication protocol	protocol specalized for Profinet	protocol specalized for Profinet	protocol specalized for Profinet
Data rate	Data rate	100 Mbps	100 Mbps	100 Mbps
Physical layer	Physical layer	100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read	Digital functions read	pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
Digital functions set	Digital functions set	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Profinet connector	Profinet connector	2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output	2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output	2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output
Profinet Cable	Profinet Cable	Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)	Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)	Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
Cable lenght	Cable lenght	<100 m (330 ft)	<100 m (330 ft)	<100 m (330 ft)
DeviceNet™
Protocol	Protocol	DeviceNet™, group 2 slave only	DeviceNet™, group 2 slave only	DeviceNet™, group 2 slave only
Data rate	kBaud	125, 250, 500 by switch or network programmable	125, 250, 500 by switch or network programmable	125, 250, 500 by switch or network programmable
Cable length 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)	500 (1650)	500 (1650)
Cable length 250 kbps	m (ft.)	250 (825)	250 (825)	250 (825)
Cable length 500 kbps	m (ft.)	100 (330)	100 (330)	100 (330)
MAC ID	MAC ID	address 00 – 63 by switch or network programmable	address 00 – 63 by switch or network programmable	address 00 – 63 by switch or network programmable
Digital functions read	Digital functions read	pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
Digital functions set	Digital functions set	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Specification	Specification	DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA)	DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA)	DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA)
Device type	Device type	”VG” vacuum gauge	”VG” vacuum gauge	”VG” vacuum gauge
I / O slave messaging	I / O slave messaging	polling only	polling only	polling only
Supply voltage for gauge at D-sub connector	Supply voltage for gauge at D-sub connector	+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W	+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W	+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
Supply voltage for DeviceNet transceiver at microstyle connector	Supply voltage for DeviceNet transceiver at microstyle connector	24 V nom / <2 W (11 … 25 V)	24 V nom / <2 W (11 … 25 V)	24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
Connector for DeviceNet™	Connector for DeviceNet™	microstyle, 5 pin, male	microstyle, 5 pin, male	microstyle, 5 pin, male
Connector for CDG (analog output, supply voltage CDG, setpoints)	Connector for CDG (analog output, supply voltage CDG, setpoints)	D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male
Profibus DP
Baud rates		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Address	Address	address 00 – 125 by switch or network programmable	address 00 – 125 by switch or network programmable	address 00 – 125 by switch or network programmable
Digital functions Read	Digital functions Read	pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
Digital functions Set	Digital functions Set	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Connector for Profibus DP	Connector for Profibus DP	D-sub, 9 pin, female	D-sub, 9 pin, female	D-sub, 9 pin, female
Connector for CDG (analog output, supply voltage, setpoints)	Connector for CDG (analog output, supply voltage, setpoints)	D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male
4-20mA current loop (analog)
Signal range	mA	3.8 … 20.2	3.8 … 20.2	3.8 … 20.2
Measuring range (zero …FS)	mA	4.0 … 20.0	4.0 … 20.0	4.0 … 20.0
Loaded impedance RL	Ω	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5)
Loaded impedance absolute	Ω	309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5)	309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5)	309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5)