INFICON SKY® CDG100D
  • INFICON SKY® CDG100D

INFICON SKY® CDG100D

Trademark: Inficon
Origin: Châu Âu


92 lượt xem

ĐẦU ĐO ĐIỆN DUNG INFICON SKY® CDG100D

Đầu đo điện dung INFICON SKY® CDG100D là sự lựa chọn tuyệt vời để đo áp suất tổng và giúp bạn dễ dàng kiểm soát. CDG100D được kiểm soát ở nhiệt độ 100 độ C để đảm bảo hiệu suất vượt trội trong các quy trình bán dẫn và plasma khắc khe. Thiết bị được trang bị quãng đo rộng từ 100mTorr cho đến 1000Torr, phù hợp với mọi loại mặt bích và giao diện fieldbus, cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính từ 0 đến 10V, không kén loại khí nào.

CDG100D sử dụng màng chắn bằng sứ alumina siêu tinh khiết chống ăn mòn. Cảm biến được làm từ gốm giúp ổn định tín hiệu tốt hơn, khả năng tái tạo nhanh hơn từ khí quyển, thời gian khởi động ngắn và tuổi thọ sử dụng vượt trội. Dòng sản phẩm đầu đo điện dung INFICON CDG là cảm biến áp suất chất lượng cao cho các ứng dụng bán dẫn, plasma và chân không. Sản phẩm đảm bảo các tiêu chuẩn khắt khe và giúp tiết kiệm chi phí trong quá trình sử dụng.

Ưu Điểm

  • CoO thấp hơn (chi phí sở hữu), khởi động nhanh hơn 50%, tiết kiệm năng lượng tiêu thụ điện năng thấp
  • Tích hợp dễ dàng, phù hợp nhiều kích thước, mặt bích và giao diện đầy đủ, tiêu chuẩn với hai điểm thiết lập
  • Tính năng trả về tín hiệu 0 chỉ với một nút bấm hoặc điều khiển từ xa dễ dàng, có thể điều chỉnh độ chênh lệch 0
  • Cổng chẩn đoán để bảo trì và bảo dưỡng nhanh chóng
  • Bảo hành hai năm, thời gian sử dụng lâu hơn với công nghệ làm nóng tiên tiến và bảo vệ máy đo
  • Không phải hiệu chuẩn lại trong thời gian dài do tín hiệu ổn định và khả năng lặp lại tuyệt vời, ngay cả trong các ứng dụng plasma khắc nghiệt
  • Tuân thủ các tiêu chuẩn: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Ứng dụng

  • Etch, CVD, PVD và các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác
  • Các quá trình nhiệt độ cao ăn mòn và hóa chất
  • Quy trình chân không và màng mỏng chung yêu cầu bảo vệ máy đo

—-

Hystrong là Nhà Phân phối các thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam, với đội ngũ Kỹ Thuật Viên kinh nghiệm.
Liên hệ CTS Việt Nam để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

Thông Số Sản Phẩm

Type 1000 … 500 Torr / mbar 200 … 1 Torr / mbar 0.5 … 0.1 Torr / mbar
Accuracy (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
Temperature effect
on zero percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
on span % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
Pressure, max. kPa (absolute) 400 260 130
Resolution percent FS 0.003 0.003 0.003
Lowest reading percent FS 0.01 0.01 0.01
Lowest suggested reading percent FS 0.05 0.05 0.05
Lowest suggested control pressure percent FS 0.5 0.5 0.5
Temperature
Operation (ambient) (5) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
Bakeout at flange °C ≤110 ≤110 ≤110
Storage °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
Supply voltage +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Power consumption
During Heat up W ≤15 ≤15 ≤15
At operating temperature W ≤10 ≤10 ≤10
Output signal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Response time (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
Degree of protection IP 40 IP 40 IP 40
Standards
CE conformity CE conformity EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL certification ETL certification UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI compliance (5) SEMI compliance (5) SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
Electrical connection D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Setpoint
Number of setpoints Number of setpoints 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relay contact ≤30 ≤30 ≤30
Hysteresis percent FS 1 1 1
Diagnostic port
Protocol Protocol RS232-C RS232-C RS232-C
Read Read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Set Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materials exposed to vacuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Internal volume
I. volume 1/2” tube cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Weight
Weight 1/2” tube g 837 837 837
Weight DN 16 ISO KF g 852 852 852
Weight DN 16 CF-R g 875 875 875
Weight 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT
Protocol EtherCAT Protocol EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Communication standards Communication standards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Node address Node address Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Physical layer Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set Digital functions set set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Mailbox (CoE) Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
Process data Process data Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT connector EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable Cable shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Cable length m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
Signal processing time ms 2 2 2
Profinet
Communication protocol Communication protocol protocol specalized for Profinet protocol specalized for Profinet protocol specalized for Profinet
Data rate Data rate 100 Mbps 100 Mbps 100 Mbps
Physical layer Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set Digital functions set set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Profinet connector Profinet connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output
Profinet Cable Profinet Cable Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher) Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher) Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
Cable lenght Cable lenght <100 m (330 ft) <100 m (330 ft) <100 m (330 ft)
DeviceNet™
Protocol Protocol DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
Data rate kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
Cable length 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
Cable length 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
Cable length 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID MAC ID address 00 – 63 by switch or network programmable address 00 – 63 by switch or network programmable address 00 – 63 by switch or network programmable
Digital functions read Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set Digital functions set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Specification Specification DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA) DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA) DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA)
Device type Device type ”VG” vacuum gauge ”VG” vacuum gauge ”VG” vacuum gauge
I / O slave messaging I / O slave messaging polling only polling only polling only
Supply voltage for gauge at D-sub connector Supply voltage for gauge at D-sub connector +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
Supply voltage for DeviceNet transceiver at microstyle connector Supply voltage for DeviceNet transceiver at microstyle connector 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
Connector for DeviceNet™ Connector for DeviceNet™ microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
Connector for CDG (analog output, supply voltage CDG, setpoints) Connector for CDG (analog output, supply voltage CDG, setpoints) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP
Baud rates 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Address Address address 00 – 125 by switch or network programmable address 00 – 125 by switch or network programmable address 00 – 125 by switch or network programmable
Digital functions Read Digital functions Read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions Set Digital functions Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Connector for Profibus DP Connector for Profibus DP D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
Connector for CDG (analog output, supply voltage, setpoints) Connector for CDG (analog output, supply voltage, setpoints) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
4-20mA current loop (analog)
Signal range mA 3.8 … 20.2 3.8 … 20.2 3.8 … 20.2
Measuring range (zero …FS) mA 4.0 … 20.0 4.0 … 20.0 4.0 … 20.0
Loaded impedance RL typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5)
Loaded impedance absolute 309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5) 309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5) 309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5)

Thông Tin Dòng Sản Phẩm

Reviews

There are no reviews yet.

Be the first to review “INFICON SKY® CDG100D”

    YÊU CẦU BÁO GIÁ