INFICON Trigon® BCG552

Yêu Cầu Báo Giá

Trademark: Inficon

Origin: Châu Âu

39 lượt xem

Đầu Đo Chân Không INFICON Trigon® BCG552
Từ Áp Suất Khí Quyển Đến Chân Không Siêu Cao

Hystrong VN tự hào phân phối dòng Đầu đo chân không INFICON Trigon® BCG552 chính hãng. Đây là sản phẩm chủ lực (flagship) của dòng Trigon® mới. Thiết bị kết hợp 3 cảm biến chân không trên cùng một mặt bích duy nhất.

BCG552 sở hữu dải đo cực rộng từ chân không siêu cao UHV (mbar) lên đến áp suất khí quyển (mbar). Nhờ tích hợp thêm cảm biến ATM, BCG552 rất phù hợp để đo áp suất chênh lệch. Thiết bị cũng được dùng làm công tắc chân không trong nhiều ứng dụng phức tạp.

Hệ thống dây tóc kép Bayard-Alpert mang lại độ chính xác và tuổi thọ cao cho dải UHV/HV. Trong khi đó, cảm biến màng điện dung (capacitance diaphragm) thu nhỏ đảm bảo độ chính xác tuyệt đối ở dải ATM mà không phụ thuộc vào loại khí.

Ưu điểm nổi bật của Đầu đo chân không INFICON Trigon® BCG552

Công nghệ 3 trong 1: Tích hợp 3 cảm biến giúp mở rộng dải đo, tiết kiệm không gian và chi phí.
Dây tóc kép bền bỉ: Trang bị 2 dây tóc cho hệ thống Bayard-Alpert, tăng cường tuổi thọ thiết bị.
Đo không phụ thuộc loại khí: Cảm biến màng điện dung trên 10 Torr giúp kiểm soát loadlock tin cậy cho mọi hỗn hợp khí.
Đo áp suất chênh lệch: Loại bỏ các sai số do thay đổi áp suất khí quyển tại môi trường làm việc.
Tự động hiệu chỉnh Pirani: Giảm thiểu sự can thiệp của người vận hành ở dải chân không cao.
Cách ly điện tử (Galvanic isolated): Triệt tiêu dòng điện lạc, bảo vệ tín hiệu đo ổn định.
Chế độ phát xạ trượt (Sliding emission): Ngăn chặn hiện tượng nhảy áp suất khi chuyển đổi dòng phát xạ.
Giao diện hiện đại: Màn hình OLED lớn xoay 90°, hỗ trợ RS232C và chuẩn công nghiệp EtherCAT®.
Tính tương thích cao: Hoàn toàn tương thích ngược với dòng BCG450 cũ. Có thể dùng chung với bộ điều khiển VGC50x.

Ứng dụng thực tế tiêu biểu

INFICON Trigon® BCG552 được sử dụng rộng rãi trong:

Quy trình bán dẫn: Đo áp suất buồng xử lý, buồng chuyển phôi và buồng loadlock.
Lớp phủ công nghiệp: Đảm bảo độ chính xác cho các hệ thống phủ màng mỏng.
Hệ thống chân không tổng quát: Kiểm soát toàn diện từ dải áp suất thấp đến siêu cao.

Tại sao nên mua Đầu đo chân không INFICON Trigon® BCG552 tại Hystrong VN?

Hystrong VN cam kết mang đến giá trị khác biệt cho khách hàng:

Cam kết hàng chính hãng 100%: Đầy đủ giấy tờ chứng nhận xuất xứ (CO) và chất lượng (CQ) từ INFICON.
Báo giá cạnh tranh nhất hiện nay: Chính sách giá luôn cập nhật mới nhất, đảm bảo tối ưu ngân sách đầu tư.
Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu: Đội ngũ kỹ sư giàu kinh nghiệm sẵn sàng tư vấn lắp đặt và xử lý sự cố 24/7.
Chính sách bảo hành ưu việt: Bảo hành theo tiêu chuẩn INFICON toàn cầu. Hỗ trợ đổi trả nhanh chóng.

Hystrong là nhà phân phối thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam.
Liên hệ để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

THÔNG SỐ SẢN PHẨM

Pressure range

10 … 1500 mbar

1 … 10 mbar

2 × 10^-2 … 1 mbar

5 × 10^-3 … 2 × 10^-2 mbar

5 × 10^-10 … 5 × 10^-3 mbar

capacitance diaphragm sensor

crossover range

Pirani sensor

crossover range

hot cathode ionisation (BA)

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)

5×10^-10 … 1500 mbar, continuous

Accuracy

1 × 10^-8 … 50 mbar

50 … 950 mbar

950 … 1050 mbar

±15% of reading

±5% of reading

±2.5% of reading

Repeatability

5% of reading, 1 × 10^-8 … 1050 mbar (after 10 min. stabilization)

Switching threshold

off

2.4×10^-2 mbar

3.2×10^-2 mbar

Emission current

Sliding mode (default)

p ≤ 8 × 10^-7mbar

p > 1 × 10^-3mbar

Two-Point-Mode

p ≤ 7.2 × 10^-6mbar

3.0 × 10^-5 mbar < p < 3.2 × 10^-2mbar

Emission current switching

25 µA -> 5 mA

5 mA -> 25 µA

5 mA

25 µA

5 mA

25 µA

7.2×10^-6 mbar

3.0×10^-5 mbar

Degas

Emission current (p < 7.2 × 10^-6 mbar)

Control input signal

Duration

≈16 mA (P_degas ≈4 W)

0 V/+24 V (dc), active high

≤3 min, followed by automatic stop. A new degas cycle can only be started after a waiting time of 30 min

Output signal

Measuring range

Relationship voltage-pressure

Error signal

Minimum load impedance

0 … +10.13 V

0.774 … +10.13 V (5×10^-10 … 1500 mbar)

0.75 V/decade, logarithmic

+0.1 V (diaphragm sensor or EEPROM error)

+0.3 V (BA sensor error)

+0.5 V (Pirani sensor error)

10 kΩ

Display

Display panel

Pressure units (pressure p)

OLED, 3.81 cm (1.5″)

mbar (default), Torr, Micron, Pa, hPa

Power supply Supply voltage at the gauge Ripple Current consumption Standard Degas Emission start (< 200 ms) Power consumption BCG552 BCG552 with EtherCAT Fuse necessary	+24 V (dc) (+20 … +28 V (dc)) ≤2 V_pp ≤0.5 A ≤0.9 A ≤1.4 A ≤18 W ≤21 W 1.25 AT
Sensor cable connection Receptacle Measuring cable Cable length (supply voltage 24 V) Analog and fieldbus operation RS232C operation Gauge identification	D-sub 15-pin, male shielded, number of conductors depending on the functions used (max. 15 conductors plus shielding) ≤35 m (0.25 mm² / conductor) ≤50 m (0.34 mm² / conductor) ≤100 m (1.0 mm² / conductor) ≤30 m 42 kΩ resistor between pin 10 and pin 5
Switching functions Setpoints Adjustment range Relay contact rating	SP1, SP2 5×10^-10 … 1500 mbar ≤60 V (dc) / 0.5 A (dc), resistive
Admissible temperature Storage Operation Bakeout	–2 … +70 °C 0 … +50 °C +80 °C (at vacuum connection, without electronics unit, horizontally mounted)
Relative humidity	≤65% / 85% (no condensation) year’s mean / during 60 days
Interface (digital)	Diagnostic port connection, RS232C, Jack connector. 2.5 m, 3-pin
Materials exposed to vacuum	stainless steel, NiFe, nickel plated, Hastelloy, glass, ceramic (Al₂O₃), iridium, yttrium oxide (Y₂O₃), , tungsten, copper, SnAg
Internal volume DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R	≈24 cm³ ≈34 cm³
Weight	550 … 760g
Pressure max.	5 bar (absolute)
Mounting orientation	any
Degree of pollution	2
Degree of protection	IP40

THÔNG SỐ GIAO DIỆN

RS232C
Data rate	9600 Baud
Data format	binary, 8 data bits, one stop bit, no parity bit, no handshake

EtherCAT^®
Protocol	EtherCAT^®
Communication standards	Semiconductor Device Profile ETG.5003 Part 1 Common Device Profile ETG.5003 Part 2080 “Specific Device Profile – Vacuum Pressure Gauge”
Process Data	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT connector	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable Cable length	Shielded Ethernet CAT5e or higher ≤100 m (330 ft.)
Data rate	100000 Kbps