INFICON SKY® CDG160D

Yêu Cầu Báo Giá

Trademark: Inficon

Origin: Châu Âu

23 lượt xem

Đầu đo chân không INFICON SKY® CDG160D – Kiểm soát nhiệt độ 160°C, dải đo 1 … 1000 Torr / mbar

INFICON SKY® CDG160D là lựa chọn hàng đầu cho việc đo lường và kiểm soát áp suất tổng chính xác. Thiết bị được kiểm soát nhiệt độ ở mức 160°C, mang lại hiệu suất vượt trội trong các quy trình bán dẫn và plasma đòi hỏi khắt khe. Hystrong VN cung cấp sản phẩm chính hãng với báo giá tốt nhất và hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu.

Đặc điểm kỹ thuật và Công nghệ:

Cảm biến gốm Alumina siêu tinh khiết: Sử dụng màng gốm có khả năng chống ăn mòn tuyệt đối. Công nghệ này mang lại độ ổn định tín hiệu tốt hơn và tuổi thọ thiết bị vượt trội.
Kiểm soát nhiệt độ 160°C: Thiết kế chuyên dụng cho các quy trình Plasma và bán dẫn phức tạp. Thiết bị cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính 0 đến 10V, không phụ thuộc vào loại khí.
Khả năng phục hồi nhanh: Cảm biến gốm giúp thiết bị phục hồi nhanh chóng sau khi tiếp xúc với áp suất khí quyển. Thời gian làm nóng (Warm up) được rút ngắn đáng kể.
Tích hợp EtherCAT: Ngoài các giao diện thông thường, sản phẩm còn có phiên bản hỗ trợ giao diện kỹ thuật số EtherCAT hiện đại.

Ưu điểm vượt trội:

Tối ưu chi phí sở hữu (CoO): Thời gian làm nóng nhanh hơn 50%, thiết kế tiết kiệm năng lượng và tiêu thụ điện năng thấp.
Tích hợp dễ dàng: Đa dạng dải đo Full scale từ 1 Torr đến 1000 Torr. Hỗ trợ nhiều loại mặt bích và giao diện kết nối, tích hợp sẵn hai điểm cài đặt tiêu chuẩn.
Vận hành thuận tiện: Chỉnh Zero dễ dàng bằng một nút bấm hoặc qua tín hiệu điều khiển từ xa. Cho phép điều chỉnh lệch Zero linh hoạt.
Bảo trì nhanh chóng: Tích hợp cổng chẩn đoán (Diagnostic port) giúp dịch vụ bảo dưỡng diễn ra tức thì.
Độ bền cực cao: Bảo hành 2 năm chính hãng. Thiết bị không cần hiệu chuẩn lại dài hạn nhờ tính lặp lại tín hiệu xuất sắc, ngay cả trong môi trường Plasma khắc nghiệt.
Tiêu chuẩn quốc tế: Tuân thủ đầy đủ CE, EN, UL, SEMI và RoHS.

Ứng dụng tiêu biểu:

Sản phẩm lý tưởng cho các quy trình công nghệ cao:

Sản xuất bán dẫn: Quy trình Etch, CVD, PVD.
Các quy trình hóa chất và ăn mòn ở nhiệt độ cao.
Quy trình màng mỏng và chân không yêu cầu bảo vệ đầu đo nghiêm ngặt.

Tại sao nên mua INFICON SKY® CDG160D tại Hystrong VN?

Mua hàng tại Hystrong VN, quý khách hàng sẽ được đảm bảo:

Sản phẩm nhập khẩu chính hãng từ INFICON, đầy đủ chứng từ CO/CQ.
Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu và tư vấn giải pháp đo lường tối ưu.
Chính sách bảo hành hậu mãi uy tín và giá cả cạnh tranh nhất thị trường hiện nay.

—-

Hystrong là nhà phân phối thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam.
Liên hệ để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

THÔNG SỐ SẢN PHẨM

Full scale (FS) Torr / mbar	1000 / 1100 … 200		100 … 1
Accuracy ¹⁾		0.4 % of reading
Temperature effect On zero On span		0.005 % FS / °C 0.02 % of reading / °C
Pressure, max. (absolute)	400 kPa		260 kPa
Response time ²⁾		30 ms
Resolution		0.003 % FS
Lowest reading		0.01 % FS
Lowest suggested Reading Control pressure		0.05 % FS 0.5 % FS
Temperature Operation (ambient) ³⁾ Bakeout at flange Storage		+10 … +50 °C ≤200 °C –20 … +65 °C
Supply voltage		+21 … +30 V (dc) or ±15 V (±5%)
Power consumption during heat up CDG160D CDG200D		≤18 W ≤25 W
Power consumption at operating temperature CDG160D CDG200D		≤12 W ≤18 W
Output signal (analog)		0 … +10 V (dc)
Degree of protection		IP 40
Standards CE conformity ETL certification SEMI compliance	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 SEMI S2
Electrical connection	D-Sub, 15-pin, male
Setpoint Number of setpoints Relay contact Hysteresis	2 (SP1, SP2) ≤30 V (dc) / ≤0.5 A (dc) 1 % FS
Diagnostic port Protocol Read Set	RS232-C pressure, status, ID, setpoints, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materials exposed to vacuum	ceramics (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)
Internal volume	≤6.8 cm³
Weight	891 … 964 g