INFICON HPG400

Thương hiệu / Brand
Trademark: Inficon
Origin: Châu Âu
Tình trạng
Mới 100%
Bảo hành
Tiêu chuẩn NSX

✓ Đối tác ủy quyền chính hãng tại Việt Nam.

✓ Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu tận nhà máy.

✓ Bảo hành & Hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn toàn cầu.

Đầu Đo Chân Không INFICON HPG400
Từ Áp Suất Khí Quyển Đến Chân Không Cao

Hystrong VN phân phối chính hãng dòng Đầu đo chân không INFICON HPG400. Đây là thiết bị kết hợp cảm biến Hot Ionization áp suất cao và Pirani trong một thân máy gọn nhẹ. Sản phẩm cho phép đo lường hiệu quả từ 2×10⁻⁶ mbar đến áp suất khí quyển (ATM).

HPG400 mang lại khả năng đo áp suất lặp lại và tái lập cao. Điều này đảm bảo kiểm soát chính xác áp suất trong quy trình phún xạ (sputter process control).

Ưu điểm của Đầu đo chân không INFICON HPG400

  • Dải đo rộng: Đáp ứng nhu cầu đo từ 2×10⁻⁶ mbar đến áp suất khí quyển.
  • Kiểm soát quy trình chính xác: Cảm biến Hot Ion áp suất cao cho phép đo tin cậy từ 1×10⁻⁵ đến 1 mbar.
  • Tiết kiệm chi phí: Thiết kế tích hợp giúp giảm độ phức tạp khi lắp đặt hệ thống chân không.
  • Bảo vệ dây tóc: Chế độ liên động Pirani (Pirani interlock) bảo vệ dây tóc nóng khỏi cháy sớm.
  • Kích hoạt linh hoạt: Người dùng tùy chọn kích hoạt phát xạ ion nóng từ 5×10⁻² đến 1 mbar.
  • Tự động hiệu chỉnh: Điều chỉnh Pirani tự động ở chân không cao giúp giảm can thiệp thủ công.
  • Tùy chọn đa dạng: Hỗ trợ màn hình đồ họa và các giao diện Fieldbus hiện đại.
  • Tuân thủ tiêu chuẩn: Sản phẩm đạt chứng nhận RoHS.

Ứng dụng thực tế

Đầu đo INFICON HPG400 là lựa chọn chuyên biệt cho:
  1. Sản xuất bán dẫn: Ứng dụng phún xạ trong sản xuất linh kiện điện tử và media.
  2. Lớp phủ công nghiệp: Kiểm soát quy trình phủ màng mỏng yêu cầu độ chính xác cao.
  3. Hệ thống chân không tổng quát: Đo lường và kiểm soát dải chân không thấp đến cao.

Tại sao nên mua Đầu đo chân không INFICON HPG400 tại Hystrong VN?

Hystrong VN cam kết mang đến giá trị khác biệt cho khách hàng:
  1. Cam kết hàng chính hãng 100%: Đầy đủ giấy tờ chứng nhận xuất xứ (CO) và chất lượng (CQ) từ INFICON.
  2. Báo giá cạnh tranh nhất hiện nay: Chính sách giá luôn cập nhật mới nhất, đảm bảo tối ưu ngân sách đầu tư.
  3. Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu: Đội ngũ kỹ sư giàu kinh nghiệm sẵn sàng tư vấn lắp đặt và xử lý sự cố 24/7.
  4. Chính sách bảo hành ưu việt: Bảo hành theo tiêu chuẩn INFICON toàn cầu. Hỗ trợ đổi trả nhanh chóng.

Hystrong là nhà phân phối thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam.
Liên hệ để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

THÔNG SỐ SẢN PHẨM

 HPG400 Standard                                                              HPG400 Display
Measurement range (air, N2)

Accuracy 10-5 … 1 mbar

Repeatability

10-5 … 10-1

10-1 … 100 mbar

2 × 10-6 … 1000 mbar (1.5 × 10-6 … 750 Torr)

±15% of reading 1)

2% of reading

30% of reading

Hot ion emission on, selectable

Option 1

Option 2

Option 3

Option 4

Option 5

1 mbar

5 × 10-1 mbar

2 × 10-1 mbar

1 × 10-1 mbar

5 × 10-2 mbar

Pressure, max. (absolute)2 bar
Temperature

Operation (ambient)

Storage

Bakeout

At flange

Electronics removed

0 … +50°C

–20 … +70°C

80°C

150°C

Supply voltage20 … 28 V / 0.8 A (dc)
Output signal analog

Measurement range

Hot cathode

Pirani

Voltage vs. pressure

Hot cathode

Pirani

Error signal

Hot cathode

Pirani

Load impedance , min.

0  … +10.2 V

1.5 … 7.5 V

8.5 … 9.75 V

1  V / Decade

0.25 V / Decade

0.3 V

0.5 V

10 kΩ

Interface (digital) 2)RS232C
Electrical connectionD-Sub, 15-pin, male
Cable length, max.3)100 m (330 ft)
Materials exposed to vacuumYt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Internal volume KF / CF20 cm3 (1.2 in.3) / 30 cm3 (1.8 in.3)
Weight KF / CF430 g / 695 g
Degree of protectionIP30

1) Accuracy from 10-5 mbar to the selected hot ion emission on value

2) Simultaneous use of RS232C or VGC40x and VGC50x series controllers and Fieldbus is not allowed

3) For RS232C operation <30 m

THÔNG SỐ GIAO DIỆN

DeviceNet™ 
ProtocolDeviceNet™, group 2 slave only
Data rate switch125, 250, 500 kBaud or network programmable
Cable length

125 kbps

250 kbps

500 kbps

500 m (1650 ft.)

250 m (825 ft.)

100 m (330 ft.)

MAC IDTwo switches (address 00 – 63) or network programmable
Digital functionsRead pressure, select units: Torr, mbar, Pa

Degas function, Pirani full scale adjust

Monitor gauge status

Safe state allows definition of behavior in case of error

Detailed alarm and warning information

Analog functions0 … 10 V analog output pressure indication

two setpoint relays A + B

Visual communication indicatorsLED network status (green / red) LED module status (green / red)
SpecificationDeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile”
Device type“CG” for combination gauge
I / O slave messagingPolling only
Setpoint relays

Range

Relay contact

Hysteresis

Contact rating

2

1 × 10-9 … 100 mbar

NO, potential free

10 % of reading

60 V / 0.5 A (dc)

Supply voltage for DeviceNet™

Supply voltage for gauge

+11 – +25 V / 0.5 A (dc)

+20 – +28 V / 0.8 A (dc)

Connector for DeviceNet™

Connector for Gauges (analog output, supply voltage, setpoints)

Microstyle, 5-pin

D-Sub, 15-pin, male

  
PROFIBUS DP 
Baud rates9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 kBaude

1.5 / 12 MBaud

AddressTwo switches (address 00 – 127) or network programmable
Digital functionsRead pressure, select units: Torr, mbar, Pa

Degas function, Pirani full scale adjust

Monitor gauge status, filament status

Safe state allows definition of behavior in case of error

Detailed alarm and warning information

Analog functions0 … 10 V analog output pressure indication

two setpoint relays A + B

Setpoint relays

Range

Relay contact

Hysteresis

Contact rating

2

1 × 10-9 … 100 mbar

NO, potential free

10 % of reading

≤30 V / ≤0.5 A (dc)

Connector for Profibus DP

Connector for BPG (analog output, supply voltage, setpoints)

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 15-pin, male

MÃ SẢN PHẨM (PART NUMBER)

Part NumberDescription
353-520HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522HPG400 DN 40 CF-F
353-523HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

MÃ PHỤ KIỆN (ACCESSORIES)

Part NumberDescription
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-511Power supply BPG400 24VDC
357-499Baffle HPG (10 pieces)

MÃ LINH KIỆN THAY THẾ (SPARE PARTS)

Part NumberDescription
354-487Spare sensor head HPG400, DN 25 ISO-KF
354-488Spare sensor head HPG400, DN 40 CF-F

Đánh giá

Sản phẩm này chưa được đánh giá

Hãy là người đầu tiên đánh giá “INFICON HPG400”

SẢN PHẨM CÙNG DANH MỤC

Có thể bạn thích

Đầu đo chân không INFICON BPG402-Sx chính hãng tại Hystrong VN hỗ trợ EtherCAT dải đo từ ATM đến UHV.

INFICON BAG402

Đầu đo chân không INFICON BAG05x loại Hot Ionization Gauge chính hãng tại Hystrong VN dải đo chân không siêu cao (UHV).

INFICON BAG05x

Đầu đo chân không INFICON BAG055 loại Hot Ionization Gauge siêu nhỏ chính hãng tại Hystrong VN đo đến 1x10-9 mbar.

INFICON BAG055

Đầu đo chân không chuẩn tham chiếu INFICON IRG080 chính hãng tại Hystrong VN với sai số dưới 1%

INFICON IRG080

INFICON CDG015D, 4-20mA

INFICON CDG015D, 4-20mA

INFICON SKY® CDG100D

INFICON SKY® CDG100D

Đầu đo chân không cathode lạnh INFICON MPG40X (MPG400/MPG401) chính hãng tại Hystrong VN dải đo 5x10-9 mbar đến ATM.

INFICON MPG40X

INFICON SKY® CDG025D

INFICON SKY® CDG025D

BÁO GIÁ & TÀI LIỆU

Gửi yêu cầu báo giá và tài liệu kỹ thuật

    YÊU CẦU CHI TIẾT





    Email us

    Zalo

    0865733288