INFICON HPG400

Yêu Cầu Báo Giá

Trademark: Inficon

Origin: Châu Âu

34 lượt xem

Đầu Đo Chân Không INFICON HPG400
Từ Áp Suất Khí Quyển Đến Chân Không Cao

Hystrong VN phân phối chính hãng dòng Đầu đo chân không INFICON HPG400. Đây là thiết bị kết hợp cảm biến Hot Ionization áp suất cao và Pirani trong một thân máy gọn nhẹ. Sản phẩm cho phép đo lường hiệu quả từ 2×10⁻⁶ mbar đến áp suất khí quyển (ATM).

HPG400 mang lại khả năng đo áp suất lặp lại và tái lập cao. Điều này đảm bảo kiểm soát chính xác áp suất trong quy trình phún xạ (sputter process control).

Ưu điểm của Đầu đo chân không INFICON HPG400

Dải đo rộng: Đáp ứng nhu cầu đo từ 2×10⁻⁶ mbar đến áp suất khí quyển.
Kiểm soát quy trình chính xác: Cảm biến Hot Ion áp suất cao cho phép đo tin cậy từ 1×10⁻⁵ đến 1 mbar.
Tiết kiệm chi phí: Thiết kế tích hợp giúp giảm độ phức tạp khi lắp đặt hệ thống chân không.
Bảo vệ dây tóc: Chế độ liên động Pirani (Pirani interlock) bảo vệ dây tóc nóng khỏi cháy sớm.
Kích hoạt linh hoạt: Người dùng tùy chọn kích hoạt phát xạ ion nóng từ 5×10⁻² đến 1 mbar.
Tự động hiệu chỉnh: Điều chỉnh Pirani tự động ở chân không cao giúp giảm can thiệp thủ công.
Tùy chọn đa dạng: Hỗ trợ màn hình đồ họa và các giao diện Fieldbus hiện đại.
Tuân thủ tiêu chuẩn: Sản phẩm đạt chứng nhận RoHS.

Ứng dụng thực tế

Đầu đo INFICON HPG400 là lựa chọn chuyên biệt cho:

Sản xuất bán dẫn: Ứng dụng phún xạ trong sản xuất linh kiện điện tử và media.
Lớp phủ công nghiệp: Kiểm soát quy trình phủ màng mỏng yêu cầu độ chính xác cao.
Hệ thống chân không tổng quát: Đo lường và kiểm soát dải chân không thấp đến cao.

Tại sao nên mua Đầu đo chân không INFICON HPG400 tại Hystrong VN?

Hystrong VN cam kết mang đến giá trị khác biệt cho khách hàng:

Cam kết hàng chính hãng 100%: Đầy đủ giấy tờ chứng nhận xuất xứ (CO) và chất lượng (CQ) từ INFICON.
Báo giá cạnh tranh nhất hiện nay: Chính sách giá luôn cập nhật mới nhất, đảm bảo tối ưu ngân sách đầu tư.
Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu: Đội ngũ kỹ sư giàu kinh nghiệm sẵn sàng tư vấn lắp đặt và xử lý sự cố 24/7.
Chính sách bảo hành ưu việt: Bảo hành theo tiêu chuẩn INFICON toàn cầu. Hỗ trợ đổi trả nhanh chóng.

Hystrong là nhà phân phối thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam.
Liên hệ để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

THÔNG SỐ SẢN PHẨM

	HPG400 Standard HPG400 Display
Measurement range (air, N₂) Accuracy 10^-5… 1 mbar Repeatability 10-5 … 10-1 10^-1 … 100 mbar	2 × 10^-6 … 1000 mbar (1.5 × 10^-6 … 750 Torr) ±15% of reading ¹⁾ 2% of reading 30% of reading
Hot ion emission on, selectable Option 1 Option 2 Option 3 Option 4 Option 5	1 mbar 5 × 10^-1 mbar 2 × 10^-1 mbar 1 × 10^-1 mbar 5 × 10^-2 mbar
Pressure, max. (absolute)	2 bar
Temperature Operation (ambient) Storage Bakeout At flange Electronics removed	0 … +50°C –20 … +70°C 80°C 150°C
Supply voltage	20 … 28 V / 0.8 A (dc)
Output signal analog Measurement range Hot cathode Pirani Voltage vs. pressure Hot cathode Pirani Error signal Hot cathode Pirani Load impedance , min.	0 … +10.2 V 1.5 … 7.5 V 8.5 … 9.75 V 1 V / Decade 0.25 V / Decade 0.3 V 0.5 V 10 kΩ
Interface (digital) ²⁾	RS232C
Electrical connection	D-Sub, 15-pin, male
Cable length, max.³⁾	100 m (330 ft)
Materials exposed to vacuum	Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Internal volume KF / CF	20 cm³ (1.2 in.³) / 30 cm³ (1.8 in.³)
Weight KF / CF	430 g / 695 g
Degree of protection	IP30

1) Accuracy from 10^-5 mbar to the selected hot ion emission on value

2) Simultaneous use of RS232C or VGC40x and VGC50x series controllers and Fieldbus is not allowed

3) For RS232C operation <30 m

THÔNG SỐ GIAO DIỆN

DeviceNet™
Protocol	DeviceNet™, group 2 slave only
Data rate switch	125, 250, 500 kBaud or network programmable
Cable length 125 kbps 250 kbps 500 kbps	500 m (1650 ft.) 250 m (825 ft.) 100 m (330 ft.)
MAC ID	Two switches (address 00 – 63) or network programmable
Digital functions	Read pressure, select units: Torr, mbar, Pa Degas function, Pirani full scale adjust Monitor gauge status Safe state allows definition of behavior in case of error Detailed alarm and warning information
Analog functions	0 … 10 V analog output pressure indication two setpoint relays A + B
Visual communication indicators	LED network status (green / red) LED module status (green / red)
Specification	DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile”
Device type	“CG” for combination gauge
I / O slave messaging	Polling only
Setpoint relays Range Relay contact Hysteresis Contact rating	2 1 × 10^-9 … 100 mbar NO, potential free 10 % of reading 60 V / 0.5 A (dc)
Supply voltage for DeviceNet™ Supply voltage for gauge	+11 – +25 V / 0.5 A (dc) +20 – +28 V / 0.8 A (dc)
Connector for DeviceNet™ Connector for Gauges (analog output, supply voltage, setpoints)	Microstyle, 5-pin D-Sub, 15-pin, male

PROFIBUS DP
Baud rates	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 kBaude 1.5 / 12 MBaud
Address	Two switches (address 00 – 127) or network programmable
Digital functions	Read pressure, select units: Torr, mbar, Pa Degas function, Pirani full scale adjust Monitor gauge status, filament status Safe state allows definition of behavior in case of error Detailed alarm and warning information
Analog functions	0 … 10 V analog output pressure indication two setpoint relays A + B
Setpoint relays Range Relay contact Hysteresis Contact rating		2 1 × 10^-9 … 100 mbar NO, potential free 10 % of reading ≤30 V / ≤0.5 A (dc)
Connector for Profibus DP Connector for BPG (analog output, supply voltage, setpoints)		D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 15-pin, male

MÃ SẢN PHẨM (PART NUMBER)

Part Number	Description
353-520	HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 DN 40 CF-F
353-523	HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F