Đầu Đo Chân Không INFICON BCG450 TripleGauge®
Từ Áp Suất Khí Quyển Đến Chân Không Siêu Cao
Hystrong VN giới thiệu dòng Đầu đo chân không INFICON BCG450. Đây là dòng TripleGauge® độc quyền. Thiết bị kết hợp ưu điểm của ba công nghệ đo lường trong một thân máy nhỏ gọn. Sản phẩm đo được cả áp suất quy trình và áp suất nền từ 5×10⁻¹⁰ đến 1500 mbar.
BCG450 được thiết kế để thay thế hoàn toàn cho ba loại cảm biến. Đó là đầu đo ion hóa dây tóc nóng, đầu đo Pirani và công tắc chân không. Giải pháp này giúp tiết kiệm chi phí và không gian lắp đặt quý giá trên hệ thống của bạn.
Thiết bị có tùy chọn giao diện kỹ thuật số PROFINET cho các ứng dụng công nghiệp hiện đại.
Ưu điểm của Đầu đo chân không INFICON BCG450
- Tối ưu hóa chi phí và không gian: Giảm đáng kể độ phức tạp khi lắp đặt và thiết lập hệ thống chân không.
- Đo áp suất không phụ thuộc loại khí: Cảm biến màng điện dung (Capacitance) trên 10 Torr giúp kiểm soát loadlock chính xác cho mọi hỗn hợp khí.
- Bảo vệ dây tóc thông minh: Chế độ liên động Pirani ngăn ngừa tình trạng cháy dây tóc sớm.
- Tự động điều chỉnh: Tính năng tự động hiệu chỉnh Pirani ở chân không cao giúp giảm thiểu can thiệp từ người vận hành.
- Đo áp suất chênh lệch: Loại bỏ các sai số liên quan đến sự thay đổi áp suất khí quyển tại môi trường làm việc.
- Thay thế cảm biến nhanh chóng: Cảm biến tháo rời tích hợp sẵn dữ liệu hiệu chuẩn, đảm bảo tính tái lập kết quả đo.
- Tùy chọn linh hoạt: Hỗ trợ màn hình đồ họa và các giao diện Fieldbus tiên tiến.
- Đạt chuẩn quốc tế: Sản phẩm tuân thủ nghiêm ngặt tiêu chuẩn bảo vệ môi trường RoHS.
Ứng dụng thực tế
Đầu đo INFICON BCG450 là lựa chọn tối ưu cho:
- Ngành sản xuất bán dẫn: Đo áp suất trong buồng xử lý, buồng chuyển phôi và buồng loadlock.
- Lớp phủ công nghiệp: Kiểm soát quy trình phủ màng mỏng trong môi trường chân không.
- Hệ thống chân không tổng quát: Giám sát toàn diện từ chân không thấp đến siêu cao (UHV).
Tại sao nên mua Đầu đo chân không INFICON BCG450 tại Hystrong VN?
Hystrong VN cam kết mang đến giá trị khác biệt cho khách hàng:
- Cam kết hàng chính hãng 100%: Đầy đủ giấy tờ chứng nhận xuất xứ (CO) và chất lượng (CQ) từ INFICON.
- Báo giá cạnh tranh nhất hiện nay: Chính sách giá luôn cập nhật mới nhất, đảm bảo tối ưu ngân sách đầu tư.
- Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu: Đội ngũ kỹ sư giàu kinh nghiệm sẵn sàng tư vấn lắp đặt và xử lý sự cố 24/7.
- Chính sách bảo hành ưu việt: Bảo hành theo tiêu chuẩn INFICON toàn cầu. Hỗ trợ đổi trả nhanh chóng.
Hystrong là nhà phân phối thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam.
Liên hệ để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>
Facebook: HystrongICL
Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)
THÔNG SỐ SẢN PHẨM
|
BCG450 Standard BCG450 Display |
| Measurement range |
5 × 10-10 to 1500 mbar (3.75 × 10-10 to 1125 Torr) |
| Accuracy
10-8… 50 mbar
50 … 950 mbar
950 … 1050 mbar |
±15% of reading
±5% of reading
±2.5% of reading |
| Repeatability 10-8 … 10-2 mbar |
5% of reading |
| Hot ion emission on
(selectable high / low, via RS232 / Fieldbus) |
2 × 10-2 mbar (high)
8 × 10-3 mbar (low) |
| Degas1) p < 7.2 × 10-6mbar |
Electron bombardment, max. 3 min |
| Pressure, max. (absolute) |
5 bar |
| Temperature
Operation (ambient)
Storage
Bakeout
At flange
Electronics removed |
0 … +50°C
–20 … +70°C
80°C
150°C |
| Supply voltage |
20 … 28 °C / 0.8 A (dc) |
| Output signal analog
Measurement range
Relation voltage / pressure
Error signal
Minimum load |
0 … 10.3 V
0.774 … 10.3 V
0.75 V / Decade
0.3 / 0.5 V
10 kΩ |
| Interface (digital) 2) |
RS232C |
| Connector |
D-sub, 15-pin, male |
| Cable length, max. 3) |
100 m (330 ft) |
| Materials exposed to vacuum |
Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |
| Internal volume KF / CF
Weight KF / CF
Degree of protection |
24 cm3 (1.46 in.3) / 34 cm3 (2.1 in.3)
285 g / 550 g
IP30 |
1) Reduced accuracy during degas
2) Simultaneous use of RS232C or VGC40x and VGC50x series controllers and Fieldbus is not allowed
3) For RS232C operation <30 m
THÔNG SỐ GIAO DIỆN
| DeviceNet™ |
|
| Protocol |
DeviceNet™, group 2 slave only |
| Data rate switch |
125, 250, 500 kBaud or network programmable |
| Cable length
125 kbps
250 kbps
500 kbps |
500 m (1650 ft.)
250 m (825 ft.)
100 m (330 ft.) |
| MAC ID |
Two switches (address 00 – 63) or network programmable |
| Digital functions |
Read pressure, select units: Torr, mbar, Pa
Degas function, Pirani full scale adjust
Monitor gauge status
Safe state allows definition of behavior in case of error
Detailed alarm and warning information |
| Analog functions |
0 … 10 V analog output pressure indication
two setpoint relays A + B |
| Visual communication indicators |
LED network status (green / red)
LED module status (green / red) |
| Specification |
DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” |
| Device type |
“CG” for combination gauge |
| I / O slave messaging |
Polling only |
| Setpoint relays
Range
Relay contact
Hysteresis
Contact rating |
2
1 × 10-9 … 100 mbar
NO, potential free
10 % of reading
60 V / 0.5 A (dc) |
| Supply voltage for DeviceNet™Supply voltage for gauge |
+11 – +25 V / 0.5 A (dc)
+20 – +28 V / 0.8 A (dc) |
| Connector for DeviceNet™
Connector for Gauges (analog output, supply voltage, setpoints) |
Microstyle, 5-pin
D-Sub, 15-pin, male |
|
|
| EtherCAT® |
|
| Protocol |
EtherCAT® |
| Communication standards |
Semiconductor Device Profile
ETG.5003 Part 1 Common Device Profile
ETG.5003 Part 2080 “Specific Device Profile – Vacuum Pressure Gauge” |
| Process Data |
Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping |
| EtherCAT connector |
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT |
| Cable
Cable length |
Shielded Ethernet CAT5e or higher
≤100 m (330 ft.) |
| Data rate |
100000 Kbps |
| PROFIBUS DP |
|
| Baud rates |
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 kBaude
1.5 / 12 MBaud |
| Address |
Two switches (address 00 – 127) or network programmable |
| Digital functions |
Read pressure, select units: Torr, mbar, Pa
Degas function, Pirani full scale adjust
Monitor gauge status, filament status
Safe state allows definition of behavior in case of error
Detailed alarm and warning information |
| Analog functions |
0 … 10 V analog output pressure indication
two setpoint relays A + B |
| Setpoint relays
Range
Relay contact
Hysteresis
Contact rating |
2
1 × 10-9 … 100 mbar
NO, potential free
10 % of reading
≤30 V / ≤0.5 A (dc) |
| Connector for Profibus DP
Connector for BPG (analog output, supply voltage, setpoints) |
D-Sub, 9-pin, female
D-Sub, 15-pin, male |
|
|
| PROFINET™ |
|
| Communication protocol |
protocol specialized for PROFINET |
| Physical Layer |
100BASE-Tx (IEEE 802.3) |
| Digital functions
read
set |
pressure, status, ID
set points, filter, zero adjust, reset, DC offset |
| PROFINET connector |
2 × RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT |
| Cable
Cable length |
Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
≤100 m (330 ft.) |
| Data rate |
100000 Kbps |
MÃ SẢN PHẨM (PART NUMBER)
| Part Number |
Description |
| 353-550 |
BCG450 DN 25 ISO-KF |
| 353-551 |
BCG450 DN 40 CF-R |
| 353-552 |
BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-553 |
BCG450 LCD, DN 40 CF-R |
| 353-554 |
BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-556 |
BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-557 |
BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-558 |
BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 353-592 |
BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-593 |
BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-598 |
BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-599 |
BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-517 |
BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF |
| 353-518 |
BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R |
MÃ PHỤ KIỆN (ACCESSORIES)
| Part Number |
Description |
| 353-511 |
Power supply BPG400 24VDC |
| 353-512 |
Baffle for BPG400 |
| 211-113 |
Centering ring with baffle DN 25 KF |
MÃ LINH KIỆN THAY THẾ (SPARE PARTS)
| Part Number |
Description |
| 354-492 |
Spare sensor head BCG450, DN 25 ISO-KF |
| 354-493 |
Spare sensor head BCG450, DN 40 CF-R |
Đánh giá
Sản phẩm này chưa được đánh giá