INFICON EDGE™ CDG045D2

Thương hiệu / Brand

Trademark: Inficon

Origin: Châu Âu

Tình trạng

Mới 100%

Bảo hành

Tiêu chuẩn NSX

CHAT ZALO TƯ VẤN

BÁO GIÁ & TÀI LIỆU

✓ Đối tác ủy quyền chính hãng tại Việt Nam.

✓ Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu tận nhà máy.

✓ Bảo hành & Hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn toàn cầu.

THIẾT BỊ ĐO MÀNG ĐIỆN DUNG Inficon EDGE™ CDG045D2

Thiết bị đo màng điện dung INFICON EDGE™ CDG045D2 là thiết bị đo chân không với độ chính xác cực cao. Sản phẩm được thiết kế cho các môi trường nhà máy sản xuất khắc nghiệt. Cảm biến gốm siêu tinh khiết được kiểm soát nhiệt độ, chống ăn mòn, cung cấp độ ổn định vượt trội trong nhiều năm.

Dòng sản phẩm EDGE đi kèm với tấm chắn cảm biến độc đáo của INFICON, đã được cấp bằng sáng chế, giúp bảo vệ máy đo khỏi các sản phẩm phụ trong quá trình phát sinh. Các bộ phận điện tử tiên tiến cung cấp nhiều mức tín hiệu ổn định, giúp nhà máy có thể định cấu hình cho tất cả ứng dụng và giao diện fieldbus EtherCAT đi kèm. Công nghệ làm nóng tiên tiến cho phép bề mặt cảm ứng mát hơn và tiết kiệm không gian dụng cụ quý giá. Dòng sản phẩm INFICON EDGE là thiết bị đo chân không nhỏ nhất so với các sản phẩm khác cùng loại.

Ưu Điểm

Nhỏ gọn, tiết kiệm không gian dụng cụ quý giá
Tích hợp dễ dàng, EtherCAT, nhiều loại quy mô và mặt bích đầy đủ, tiêu chuẩn với hai điểm thiết lập
Khả năng trả về giá trị 0 chỉ với một nút bấm hoặc điều khiển từ xa, có thể điều chỉnh độ lệch 0
Cổng chẩn đoán để bảo trì và bảo dưỡng nhanh chóng
Bảo hành hai năm, thời gian sử dụng lâu hơn với khái niệm sưởi ấm tiên tiến và bảo vệ máy đo
Không phải hiệu chuẩn lại trong thời gian dài do tín hiệu ổn định và khả năng tái tạo tuyệt vời, ngay cả trong các ứng dụng plasma khắc nghiệt
Tuân thủ và tiêu chuẩn: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Ứng Dụng

Được sử dụng cho quy trình CVD, Etch, PVD và các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác

—-

Hystrong là Nhà Phân phối các thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam, với đội ngũ Kỹ Thuật Viên kinh nghiệm.
Liên hệ CTS Việt Nam để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

Thông Số Sản Phẩm

Temperature effect
Type		1000 Torr, 1100 mbar	500 … 1 Torr / mbar
Accuracy (1)	% of reading	0.15	0.15
on zero	percent FS/°C	0.0025	0.0025
on span	% of reading / °C	0.01	0.01
Pressure, max.	kPa (absolute)	400	260
Resolution	percent FS	0.003	0.003
Lowest reading	percent FS	0.01	0.01
Lowest suggested reading	percent FS	0.05	0.05
Lowest suggested control pressure	percent FS	0.5	0.5
Temperature
Sensor	°C	45	45
Operation (ambient)	°C	+10 … +40	+10 … +40
Bakeout at flange	°C	≤110	≤110
Storage	°C	–20 … +65	–20 … +65
Supply voltage		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Power consumption
During Heat up	W	≤15	≤15
At operating temperature	W	≤10	≤10
Output signal (analog)	V (dc)	0 … +10	0 … +10
Response time (2)	ms	30	30
Degree of protection		IP 40	IP 40
Standards
CE conformity	CE conformity	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL certification	ETL certification	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI compliance	SEMI compliance	SEMI S2	SEMI S2
Electrical connection		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
Setpoint
Number of setpoints	Number of setpoints	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
Relay contact		≤30	≤30
Hysteresis	percent FS	1	1
Diagnostic port
Protocol	Protocol	RS232-C	RS232-C
Read	Read	pressure, status, ID	pressure, status, ID
Set	Set	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materials exposed to vacuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
Internal volume
I. volume 1/2” tube	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
I. volume DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
I. volume DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
I. volume 8 VCR®	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
Weight
Weight 1/2” tube	g	837	837
Weight DN 16 ISO KF	g	852	852
Weight DN 16 CF-R	g	875	875
Weight 8 VCR® female	g	897	897
EtherCAT
Protocol EtherCAT	Protocol EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
Communication standards	Communication standards	ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge	ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Data rate	Kbps	100000	100000
Node address	Node address	Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
Physical layer	Physical layer	100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read	Digital functions read	pressure, status, ID	pressure, status, ID
Digital functions set	Digital functions set	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Process data	Process data	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE)	Mailbox (CoE)	SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
EtherCAT connector	EtherCAT connector	2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable	Cable	shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
Cable length	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)