INFICON EDGE™ CDG045D2
  • INFICON EDGE™ CDG045D2

INFICON EDGE™ CDG045D2

Trademark: Inficon
Origin: Châu Âu


92 lượt xem

THIẾT BỊ ĐO MÀNG ĐIỆN DUNG Inficon EDGE™ CDG045D2

Thiết bị đo màng điện dung INFICON EDGE™ CDG045D2 là thiết bị đo chân không với độ chính xác cực cao. Sản phẩm được thiết kế cho các môi trường nhà máy sản xuất khắc nghiệt. Cảm biến gốm siêu tinh khiết được kiểm soát nhiệt độ, chống ăn mòn, cung cấp độ ổn định vượt trội trong nhiều năm.

Dòng sản phẩm EDGE đi kèm với tấm chắn cảm biến độc đáo của INFICON, đã được cấp bằng sáng chế, giúp bảo vệ máy đo khỏi các sản phẩm phụ trong quá trình phát sinh. Các bộ phận điện tử tiên tiến cung cấp nhiều mức tín hiệu ổn định, giúp nhà máy có thể định cấu hình cho tất cả ứng dụng và giao diện fieldbus EtherCAT đi kèm. Công nghệ làm nóng tiên tiến cho phép bề mặt cảm ứng mát hơn và tiết kiệm không gian dụng cụ quý giá. Dòng sản phẩm INFICON EDGE là thiết bị đo chân không nhỏ nhất so với các sản phẩm khác cùng loại.

Ưu Điểm

  • Nhỏ gọn, tiết kiệm không gian dụng cụ quý giá
  • Tích hợp dễ dàng, EtherCAT, nhiều loại quy mô và mặt bích đầy đủ, tiêu chuẩn với hai điểm thiết lập
  • Khả năng trả về giá trị 0 chỉ với một nút bấm hoặc điều khiển từ xa, có thể điều chỉnh độ lệch 0
  • Cổng chẩn đoán để bảo trì và bảo dưỡng nhanh chóng
  • Bảo hành hai năm, thời gian sử dụng lâu hơn với khái niệm sưởi ấm tiên tiến và bảo vệ máy đo
  • Không phải hiệu chuẩn lại trong thời gian dài do tín hiệu ổn định và khả năng tái tạo tuyệt vời, ngay cả trong các ứng dụng plasma khắc nghiệt
  • Tuân thủ và tiêu chuẩn: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Ứng Dụng

  • Được sử dụng cho quy trình CVD, Etch, PVD và các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác

—-

Hystrong là Nhà Phân phối các thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam, với đội ngũ Kỹ Thuật Viên kinh nghiệm.
Liên hệ CTS Việt Nam để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

Thông Số Sản Phẩm

Type 1000 Torr, 1100 mbar 500 … 1 Torr / mbar
Accuracy (1) % of reading 0.15 0.15
Temperature effect
on zero percent FS/°C 0.0025 0.0025
on span % of reading / °C 0.01 0.01
Pressure, max. kPa (absolute) 400 260
Resolution percent FS 0.003 0.003
Lowest reading percent FS 0.01 0.01
Lowest suggested reading percent FS 0.05 0.05
Lowest suggested control pressure percent FS 0.5 0.5
Temperature
Sensor °C 45 45
Operation (ambient) °C +10 … +40 +10 … +40
Bakeout at flange °C ≤110 ≤110
Storage °C –20 … +65 –20 … +65
Supply voltage +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Power consumption
During Heat up W ≤15 ≤15
At operating temperature W ≤10 ≤10
Output signal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10
Response time (2) ms 30 30
Degree of protection IP 40 IP 40
Standards
CE conformity CE conformity EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL certification ETL certification UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI compliance SEMI compliance SEMI S2 SEMI S2
Electrical connection D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Setpoint
Number of setpoints Number of setpoints 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relay contact ≤30 ≤30
Hysteresis percent FS 1 1
Diagnostic port
Protocol Protocol RS232-C RS232-C
Read Read pressure, status, ID pressure, status, ID
Set Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materials exposed to vacuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Internal volume
I. volume 1/2” tube cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Weight
Weight 1/2” tube g 837 837
Weight DN 16 ISO KF g 852 852
Weight DN 16 CF-R g 875 875
Weight 8 VCR® female g 897 897
EtherCAT
Protocol EtherCAT Protocol EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Communication standards Communication standards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Data rate Kbps 100000 100000
Node address Node address Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Physical layer Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set Digital functions set set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Process data Process data Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT connector EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable Cable shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Cable length m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)

Thông Tin Các Đầu Sản Phẩm

Reviews

There are no reviews yet.

Be the first to review “INFICON EDGE™ CDG045D2”

    YÊU CẦU BÁO GIÁ