INFICON XTC3: Bộ Điều Khiển Lắng Đọng Màng Mỏng & Danh Mục Phụ Tùng Thay Thế 2026

Trong các quy trình phủ màng chân không (PVD), việc kiểm soát tốc độ lắng đọng và độ dày lớp phủ yêu cầu độ chính xác tới mức nguyên tử. INFICON XTC3 là giải pháp tiêu chuẩn công nghiệp, kết hợp giữa công nghệ đo lường ModeLock và hệ sinh thái linh kiện tiêu hao bền bỉ.

1. Ưu điểm công nghệ của INFICON XTC3

Tại sao các chuyên gia lại ưu tiên INFICON XTC3 thay vì các dòng máy khác?

• Công nghệ ModeLock (Patented): Loại bỏ hiện tượng “nhảy mode” tần số của tinh thể thạch anh, đảm bảo tốc độ lắng đọng cực kỳ ổn định ngay cả khi tinh thể đã cũ.

• Độ phân giải hiển thị: 0.034 Å (Angstrom) – mức cực nhỏ giúp kiểm soát các lớp màng siêu mỏng.

• Tốc độ lấy mẫu: 10Hz (0.1 giây/lần), giúp phản ứng tức thì với sự thay đổi của nguồn nhiệt hoặc sputtering.

2. Thông số kỹ thuật quan trọng của INFICON XTC3

Dưới đây là các thông số kỹ thuật cốt lõi giúp kỹ sư tích hợp hệ thống:

3. Danh mục linh kiện tiêu hao & Phụ tùng thay thế cho XTC3

Để duy trì hiệu suất đo lường, việc sử dụng linh kiện chính hãng hoặc tương thích cao là yếu tố then chốt. Dưới đây là các mã linh kiện phổ biến cho INFICON XTC3:

Tinh thể thạch anh (Quartz Crystals)

Đây là vật tư tiêu hao nhiều nhất. INFICON XTC3 hỗ trợ tốt nhất cho thạch anh 6 MHz:

• 750-001-G1: Thạch anh 6 MHz mạ Vàng (Gold), hộp 10 viên. (Phổ biến nhất).

• 750-008-G1: Thạch anh 6 MHz mạ Hợp kim (Alloy), hộp 10 viên. (Dùng cho lớp màng có ứng suất cao).

• 750-002-G1: Thạch anh 6 MHz mạ Bạc (Silver), hộp 10 viên.

Đầu cảm biến & Linh kiện cơ khí (Sensor Parts)

• Part 750-211-G1: Đầu cảm biến đơn (Single Sensor) tiêu chuẩn.

• Part 007-047: Ngàm giữ thạch anh (Crystal Holder) bằng thép không gỉ.

• Part 008-010: Bộ cách điện gốm (Ceramic Insulators) cho đầu cảm biến.

Cáp và Kết nối (Cables & Connectivity)

• Part 755-257-G1: Cáp Oscillator (6 inch) kết nối giữa đầu cảm biến và bộ dao động.

• Cáp BNC chuyên dụng: Đảm bảo truyền dẫn tín hiệu tần số cao không bị nhiễu điện từ trong môi trường công nghiệp.

4. Hướng dẫn lắp đặt và thay thế (Technical Tips)

Khi vận hành INFICON XTC3, kỹ thuật viên cần lưu ý:

1. Vệ sinh ngàm giữ (Holder): Luôn đảm bảo bề mặt tiếp xúc của Crystal Holder sạch sẽ để tránh nhiễu điện trở (Contact resistance).

2. Kiểm tra Oscillator: Nếu máy báo lỗi “Crystal Fail” ngay cả khi vừa thay thạch anh mới, hãy kiểm tra cáp BNC và bộ dao động (Oscillator).

3. Nâng cấp từ XTC2: INFICON XTC3 được thiết kế để thay thế trực tiếp (Drop-in replacement) cho dòng XTC2 mà không cần thay đổi cấu trúc tủ rack hay dây dẫn analog cũ.

5. Mua thiết bị và linh kiện XTC3 ở đâu uy tín?

Chúng tôi chuyên cung cấp bộ điều khiển INFICON XTC3 chính hãng cùng đầy đủ danh mục vật tư tiêu hao sẵn kho.

• Cam kết hàng mới 100%, đầy đủ CO/CQ.

• Hỗ trợ cài đặt thông số PID và cấu hình hệ thống miễn phí.

• Giao hàng nhanh toàn quốc đối với các dòng thạch anh 6 MHz.

Bạn cần báo giá cho INFICON XTC3 hoặc mã linh kiện cụ thể?

Hãy liên hệ ngay với phòng kỹ thuật của chúng tôi để được tư vấn chính xác nhất về cấu hình và phụ tùng thay thế.