INFICON SKY® CDG045D
  • INFICON SKY® CDG045D

INFICON SKY® CDG045D

Trademark: Inficon
Origin: Đức


96 lượt xem

ÁP KẾ INFICON SKY® CDG045D

Áp kế Inficon SKY® CDG045D là sự lựa chọn phù hợp nhất để bạn đo và kiểm soát tổng áp suất chính xác cao. Đồng hồ đo CDG045D được kiểm soát ở nhiệt độ 45 độ để đảm bảo độ ổn định và tái lặp lại của tín hiệu. Đầu đo phù hợp với quãng đo rộng từ 50 mTorr đến 1000 Torr, với tất cả mặt bích thông thường và giao diện của mạng fieldbus và cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính từ 0 đến 10 V, không phụ thuộc vào loại khí test.

Áp kế điện dung INFICON sử dụng màng chắn bằng sứ alumina siêu tinh khiết chống ăn mòn. Ưu điểm của cảm biến bằng gốm là ổn định tín hiệu tốt hơn, phục hồi nhanh hơn từ khí quyển, thời gian khởi động ngắn và tuổi thọ đặc biệt. INFICON CDG là cảm biến áp suất chất lượng cao, tối ưu chi phí cho các ứng dụng trong chân không khắt khe.

Ưu Điểm

  • CoO (chi phí sở hữu) thấp hơn, khởi động nhanh hơn 50%, tiết kiệm năng lượng tiêu thụ điện năng thấp
  • Tích hợp dễ dàng, nhiều loại quy mô, mặt bích và giao diện đầy đủ, tiêu chuẩn với hai điểm thiết lập
  • Dễ dàng một nút nhấn hoặc lệnh không tín hiệu từ xa, có thể điều chỉnh độ lệch 0
  • Cổng chẩn đoán để bảo trì và bảo dưỡng nhanh chóng
  • Bảo hành hai năm, thời gian sử dụng lâu hơn với công nghệ sưởi ấm tiên tiến và màn bảo vệ máy đo
  • Không phải hiệu chuẩn lại trong thời gian dài do tín hiệu ổn định và khả năng lặp lại tuyệt vời, ngay cả trong các ứng dụng plasma khắc nghiệt
  • Tuân thủ và tiêu chuẩn: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Ứng Dụng

  • Quy trình sản xuất Etch, CVD, PVD và các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác
  • Quá trình hóa chất và ăn mòn trong chân không
  • Quy trình màng film mỏng và chân không thông thường
  • Cảm biến tham chiếu để giám sát các dụng cụ thử nghiệm theo tiêu chuẩn quốc tế
  • Chuyển chuẩn cho các phép đo truy xuất nguồn gốc

—-

Hystrong là Nhà Phân phối các thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam, với đội ngũ Kỹ Thuật Viên kinh nghiệm.
Liên hệ CTS Việt Nam để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

Thông Số Sản Phẩm

Type 1000 Torr, 1100 mbar 500 … 1 Torr / mbar 0.5 … 0.05Torr / mbar
Accuracy (1) % of reading 0.15 0.15 0.15
Temperature effect
on zero percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
on span % of reading / °C 0.01 0.01 0.01
Pressure, max. kPa (absolute) 400 260 130
Resolution percent FS 0.003 0.003 0.003
Lowest reading percent FS 0.01 0.01 0.01
Lowest suggested reading percent FS 0.05 0.05 0.05
Lowest suggested control pressure percent FS 0.5 0.5 0.5
Temperature
Operation (ambient) °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
Bakeout at flange °C ≤110 ≤110 ≤110
Storage °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
Supply voltage +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Power consumption
During Heat up W ≤12 ≤12 ≤12
At operating temperature W ≤8 ≤8 ≤8
Output signal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Response time (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
Degree of protection IP 40 IP 40 IP 40
Standards
CE conformity CE conformity EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL certification ETL certification UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI compliance SEMI compliance SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
Electrical connection D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Setpoint
Number of setpoints Number of setpoints 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relay contact ≤30 ≤30 ≤30
Hysteresis percent FS 1 1 1
Diagnostic port
Protocol Protocol RS232-C RS232-C RS232-C
Read Read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Set Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Materials exposed to vacuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Internal volume
I. volume 1/2” tube cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
I. volume 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Weight
Weight 1/2” tube g 837 837 837
Weight DN 16 ISO KF g 852 852 852
Weight DN 16 CF-R g 875 875 875
Weight 4 VCR® female g 877 877 877
Weight 4 VCR® male g 861 861 861
Weight 8 VCR® female g 897 897 897
Weight 8 VCR® female long g 912 912 912
EtherCAT
Protocol EtherCAT Protocol EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Communication standards Communication standards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Node address Node address Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Physical layer Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set Digital functions set set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Process data Process data Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT connector EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable Cable shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Cable length m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
Profinet
Communication protocol Communication protocol protocol specalized for Profinet protocol specalized for Profinet protocol specalized for Profinet
Data rate Data rate 100 Mbps 100 Mbps 100 Mbps
Physical layer Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions read Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set Digital functions set set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Profinet connector Profinet connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output
Profinet Cable Profinet Cable Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher) Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher) Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
Cable lenght Cable lenght <100 m (330 ft) <100 m (330 ft) <100 m (330 ft)
DeviceNet™
Protocol Protocol DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
Data rate kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
Cable length 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
Cable length 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
Cable length 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID MAC ID address 00 – 63 by switch or network programmable address 00 – 63 by switch or network programmable address 00 – 63 by switch or network programmable
Digital functions read Digital functions read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions set Digital functions set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Specification Specification DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA) DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA) DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” (ODVA)
Device type Device type ”VG” vacuum gauge ”VG” vacuum gauge ”VG” vacuum gauge
I / O slave messaging I / O slave messaging polling only polling only polling only
Supply voltage for gauge at D-sub connector Supply voltage for gauge at D-sub connector +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
Supply voltage for DeviceNet transceiver at microstyle connector Supply voltage for DeviceNet transceiver at microstyle connector 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
Connector for DeviceNet™ Connector for DeviceNet™ microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
Connector for CDG (analog output, supply voltage CDG, setpoints) Connector for CDG (analog output, supply voltage CDG, setpoints) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP
Baud rates 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Address Address address 00 – 125 by switch or network programmable address 00 – 125 by switch or network programmable address 00 – 125 by switch or network programmable
Digital functions Read Digital functions Read pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digital functions Set Digital functions Set set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Connector for Profibus DP Connector for Profibus DP D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
Connector for CDG (analog output, supply voltage, setpoints) Connector for CDG (analog output, supply voltage, setpoints) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
4-20mA current loop (analog)
Signal range mA 3.8 … 20.2 3.8 … 20.2 3.8 … 20.2
Measuring range (zero …FS) mA 4.0 … 20.0 4.0 … 20.0 4.0 … 20.0
Loaded impedance RL Ω typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (5)
Loaded impedance absolute Ω 309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5) 309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5) 309 … 657 Ω at 24 V (dc) (5)

Thông Tin Các Đầu Sản Phẩm

Reviews

There are no reviews yet.

Be the first to review “INFICON SKY® CDG045D”

    YÊU CẦU BÁO GIÁ