Đầu đo chân không INFICON SKY® CDG200D – Kiểm soát nhiệt độ 200°C, dải đo 1-1000 Torr / mbar
INFICON SKY® CDG200D là lựa chọn hàng đầu cho việc đo lường và kiểm soát áp suất tổng chính xác. Thiết bị được kiểm soát nhiệt độ ở mức 200°C, mang lại hiệu suất vượt trội trong các quy trình bán dẫn và plasma đòi hỏi khắt khe nhất. Hystrong VN cung cấp sản phẩm chính hãng với báo giá tốt nhất và hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu.
Công nghệ của đầu đo INFICON SKY® CDG200D:
- Cảm biến gốm Alumina siêu tinh khiết: Sử dụng màng gốm có khả năng chống ăn mòn tuyệt đối. Công nghệ này mang lại độ ổn định tín hiệu tốt hơn và tuổi thọ thiết bị vượt trội.
- Kiểm soát nhiệt độ 200°C: Thiết kế chuyên dụng cho các quy trình Plasma và bán dẫn phức tạp ở nhiệt độ cao. Thiết bị cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính 0 đến 10V, không phụ thuộc vào loại khí.
- Khả năng phục hồi nhanh: Cảm biến gốm giúp thiết bị phục hồi nhanh chóng sau khi tiếp xúc với áp suất khí quyển. Thời gian làm nóng (Warm up) được rút ngắn đáng kể, nhanh hơn 50% so với các dòng thông thường.
- Tích hợp EtherCAT: Ngoài các giao diện Analog tiêu chuẩn, sản phẩm còn có phiên bản hỗ trợ giao diện kỹ thuật số EtherCAT hiện đại.
Ưu điểm của INFICON SKY® CDG200D:
- Tối ưu chi phí sở hữu (Lower CoO): Thiết bị giúp tiết kiệm năng lượng và giảm đáng kể thời gian chờ làm nóng máy.
- Tích hợp dễ dàng: Đa dạng các dải đo Full scale từ 1 Torr đến 1000 Torr. Sản phẩm hỗ trợ nhiều loại mặt bích, giao diện kết nối và tích hợp sẵn hai điểm cài đặt tiêu chuẩn.
- Vận hành thuận tiện: Cho phép chỉnh Zero dễ dàng bằng một nút bấm hoặc qua tín hiệu điều khiển từ xa. Người dùng có thể điều chỉnh lệch Zero linh hoạt.
- Bảo trì nhanh chóng: Tích hợp cổng chẩn đoán (Diagnostic port) giúp công tác dịch vụ và bảo dưỡng diễn ra tức thì.
- Độ bền cực cao: Chính sách bảo hành lâu dài. Thiết bị không cần hiệu chuẩn lại dài hạn nhờ tính lặp lại tín hiệu xuất sắc ngay cả trong môi trường Plasma khắc nghiệt.
- Tiêu chuẩn quốc tế: Tuân thủ hoàn toàn các tiêu chuẩn CE, EN, UL, SEMI và RoHS.
Ứng dụng tiêu biểu:
Sản phẩm lý tưởng cho các quy trình công nghệ cao:
- Sản xuất bán dẫn: Quy trình Etch, CVD, PVD và các quy trình màng mỏng khác.
- Các quy trình hóa chất và môi trường ăn mòn ở nhiệt độ cực cao.
- Hệ thống chân không yêu cầu bảo vệ đầu đo nghiêm ngặt và độ chính xác tuyệt đối.
Tại sao nên mua tại Hystrong VN?
Mua hàng tại Hystrong VN, quý khách hàng sẽ được đảm bảo:
- Sản phẩm nhập khẩu chính hãng từ INFICON, đầy đủ chứng từ CO/CQ.
- Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu và tư vấn giải pháp đo lường tối ưu.
- Chính sách bảo hành hậu mãi uy tín và giá cả cạnh tranh nhất thị trường hiện nay.
Hystrong là nhà phân phối thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam.
Liên hệ để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>
Facebook: HystrongICL
Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)
THÔNG SỐ SẢN PHẨM
| Full scale (FS) Torr / mbar | 1000 / 1100 … 200 | | 100 … 1 |
| Accuracy 1) | | 0.4 % of reading | |
| Temperature effect On zero On span | | 0.005 % FS / °C 0.02 % of reading / °C | |
| Pressure, max. (absolute) | 400 kPa | | 260 kPa |
| Response time 2) | | 30 ms | |
| Resolution | | 0.003 % FS | |
| Lowest reading | | 0.01 % FS | |
| Lowest suggested Reading Control pressure | | 0.05 % FS 0.5 % FS | |
| Temperature Operation (ambient) 3) Bakeout at flange Storage | | +10 … +50 °C ≤200 °C –20 … +65 °C | |
| Supply voltage | | +21 … +30 V (dc) or ±15 V (±5%) | |
| Power consumption during heat up CDG160D CDG200D | | ≤18 W ≤25 W | |
| Power consumption at operating temperature CDG160D CDG200D | | ≤12 W ≤18 W | |
| Output signal (analog) | | 0 … +10 V (dc) | |
| Degree of protection | | IP 40 | |
| Standards CE conformity ETL certification SEMI compliance | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 SEMI S2 |
| Electrical connection | D-Sub, 15-pin, male |
| Setpoint Number of setpoints Relay contact Hysteresis | 2 (SP1, SP2) ≤30 V (dc) / ≤0.5 A (dc) 1 % FS |
| Diagnostic port Protocol Read Set | RS232-C pressure, status, ID, setpoints, filter, zero adjust, factory reset, DC offset |
| Materials exposed to vacuum | ceramics (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Internal volume | ≤6.8 cm3 |
| Weight | 891 … 964 g |
1) Non-linearity, hysteresis, repeatability at 25°C ambient operating temperature without temperature effects after three hours operation
2) Increase 10 … 90% FS
3) Ambient temperatures >40°C may increase surface temperature above SEMI S2 compliance levels — mark “caution hot!”
THÔNG SỐ GIAO DIỆN
| DeviceNet™ | |
| Protocol | DeviceNet™, group 2 slave only |
| Data rate switch | 125, 250, 500 kBaud or network programmable |
| Cable length 125 kbps 250 kbps 500 kbps | 500 m (1650 ft.) 250 m (825 ft.) 100 m (330 ft.) |
| MAC ID | Two switches (address 00 – 63) or network programmable |
| Digital functions | Read pressure, select units: Torr, mbar, Pa Set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset Monitor gauge status Safe state allows definition of behavior in case of error Detailed alarm and warning information |
| Analog functions | 0 … 10 V analog output pressure indication two setpoint relays A + B |
| Visual communication indicators | LED network status (green / red) LED module status (green / red) |
| Specification | DeviceNet™ “Vacuum Gauge Device Profile” |
| Device type | “VG” for combination gauge |
| I / O slave messaging | Polling only |
| Supply voltage for DeviceNet™ Supply voltage for gauge | 24 V nominal (11 … 25 V) +21 … +30 V (dc) or ±15 V (±5%) |
| Connector for DeviceNet™ Connector for Gauges (analog output, supply voltage, setpoints) | Microstyle, 5-pin D-Sub, 15-pin, male |
| |
| PROFIBUS DP | |
| Baud rates | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 kBaude 1.5 / 12 MBaud |
| Address | Two switches (address 00 – 125) or network programmable |
| Digital functions | Read pressure, select units: Torr, mbar, Pa Set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset Monitor gauge status, filament status Safe state allows definition of behavior in case of error Detailed alarm and warning information |
| Analog functions | 0 … 10 V analog output pressure indication two setpoint relays A + B |
| Connector for Profibus DP Connector for CDG (analog output, supply voltage, setpoints) | D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 15-pin, male |
| | |
| EtherCAT® | |
| Protocol | EtherCAT® |
| Communication standards | Semiconductor Device Profile ETG.5003 Part 1 Common Device Profile ETG.5003 Part 2080 “Specific Device Profile – Vacuum Pressure Gauge” |
| Process Data | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping |
| EtherCAT connector | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT |
| Cable Cable length | Shielded Ethernet CAT5e or higher ≤100 m (330 ft.) |
| Data rate | 100000 Kbps |
| 4-20mA current loop (analog) | |
| Output signal (measurement signal) | 2-wire, current loop |
| Signal range Measuring rang (zero … FS) | 3.8 … 20.2 mA 4.0 … 20.0 mA |
| Loaded impedance RL | 18.5 … 33.3 V (dc) [1]) 500 Ω 16.2 … 31.0 V (dc) 1) 400 Ω 13.9 … 28.8 V (dc) 1) 300 Ω 11.7 … 26.5 V (dc) 1) 200 Ω 9.4 … 24.2 V (dc) 1) 100 Ω |
1) Supply voltage current interface
THÔNG TIN CÁC ĐẦU SẢN PHẨM
Đánh giá
Sản phẩm này chưa được đánh giá