INFICON Edge® CDG100D2
  • INFICON Edge® CDG100D2

INFICON Edge® CDG100D2

Trademark: Inficon
Origin: Châu Âu


20 lượt xem

Đầu đo chân không INFICON Edge® CDG100D2 (Kiểm soát nhiệt độ 100°C, Full scale 1 … 1000 Torr / mbar)

INFICON Edge® CDG100D2 là thiết bị đo chân không màng gốm kiểm soát nhiệt độ 100°C. Sản phẩm được thiết kế chuyên dụng cho các môi trường sản xuất khắc nghiệt. Thiết bị hỗ trợ dải đo Full scale từ 1 … 1000 Torr / mbar. Đây là công cụ đo lường có độ chính xác cực cao, kích thước nhỏ gọn nhất trong phân khúc. Hystrong VN cung cấp sản phẩm chính hãng với đầy đủ chứng nhận CO/CQ.

  • Cảm biến gốm siêu tinh khiết: Cảm biến gốm chống ăn mòn đã được chứng minh giúp mang lại độ ổn định nhịp (span stability) vượt trội trong nhiều năm. Đi kèm với đó là độ ổn định điểm không (zero stability) hiện đại nhất.
  • Lớp bảo vệ Sensor Shield độc quyền: Sản phẩm đi kèm với lớp bảo vệ cảm biến độc nhất được INFICON cấp bằng sáng chế. Công nghệ này giúp bảo vệ đầu đo khỏi các phụ phẩm không mong muốn trong quá trình sản xuất.
  • Hệ thống điện tử tiên tiến: Cung cấp phạm vi điều kiện tín hiệu có thể cấu hình rộng cho mọi ứng dụng. Tùy chọn tích hợp giao diện fieldbus EtherCAT hiện đại.
  • Khái niệm gia nhiệt sáng tạo: Cho phép bề mặt thiết bị luôn mát khi chạm vào và tiết kiệm không gian lắp đặt công cụ quý giá. INFICON Edge là thiết bị đo chân không nhỏ nhất trong các dòng sản phẩm cùng loại.

Ưu điểm của INFICON Edge® CDG100D2:

  • Tiết kiệm không gian: Thiết kế nhỏ gọn giúp tối ưu diện tích cho hệ thống máy móc.
  • Tích hợp dễ dàng: Hỗ trợ EtherCAT, đa dạng dải đo và mặt bích kết nối. Tiêu chuẩn đi kèm hai điểm cài đặt (set points).
  • Vận hành thuận tiện: Nút bấm điều chỉnh điểm không (zero) nhanh chóng hoặc qua tín hiệu điều khiển từ xa. Cho phép điều chỉnh lệch zero dễ dàng.
  • Bảo trì nhanh chóng: Tích hợp cổng chẩn đoán (Diagnostic port) cho các dịch vụ bảo dưỡng tức thì.
  • Độ bền cao: Bảo hành 2 năm chính hãng. Tuổi thọ dài hơn nhờ khái niệm gia nhiệt tiên tiến và hệ thống bảo vệ đầu đo.
  • Ổn định tuyệt vời: Không cần hiệu chuẩn lại dài hạn nhờ tính lặp lại tín hiệu cực tốt. Thiết bị hoạt động ổn định ngay cả trong các ứng dụng Plasma khắc nghiệt.
  • Tiêu chuẩn quốc tế: Tuân thủ đầy đủ các tiêu chuẩn CE, EN, UL, SEMI, RoHS.

Ứng dụng tiêu biểu của INFICON Edge® CDG100D2:

Sản phẩm lý tưởng cho các quy trình công nghệ cao như:
  • Sản xuất bán dẫn: Quy trình CVD, Etch, PVD và các quy trình khác.
  • Thiết bị sản xuất màn hình và thiết bị lưu trữ dữ liệu.
  • Thiết bị chân không công nghiệp và đo áp suất độ chính xác cao nói chung.

Tại sao nên mua INFICON Edge® CDG100D2 tại Hystrong VN?

Mua hàng tại Hystrong VN, quý khách hàng sẽ được đảm bảo:
  1. Sản phẩm nhập khẩu chính hãng từ INFICON, đầy đủ chứng từ CO/CQ.
  2. Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu và tư vấn giải pháp đo lường tối ưu.
  3. Chính sách bảo hành hậu mãi uy tín và giá cả cạnh tranh nhất trong năm.

—-

Hystrong là Nhà phân phối các thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam, với đội ngũ Kỹ Thuật Viên kinh nghiệm.
Liên hệ để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

THÔNG SỐ SẢN PHẨM

Full scale (FS)

Torr / mbar

1000 / 1100 … 200 100 … 1
Accuracy 1) 0.2 % of reading
Temperature effect

On zero

On span

0.0025 % FS/ °C

0.02 % of reading / °C

Pressure, max. (absolute) 400 kPa 260 kPa
Response time 2) 30 ms
Resolution 0.003 % FS
Lowest reading 0.01 % FS
Lowest suggested

Reading

Control pressure

0.05 % FS

0.5 % FS

Temperature

Operation (ambient) 3)

Bakeout at flange

Storage

+10 … +50 °C

≤110 °C

–20 … +65 °C

Supply voltage +14 … +30 V (dc) or

±15 V (±5%)

Power consumption

During Heat up

At operating temperature

≤20 W

≤14 W

Output signal (analog) 0 … +10 V (dc)
Degree of protection IP 40
Standards

CE conformity

ETL certification

SEMI compliance

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 and RoHS

UL 61010-1, CSA 22.2 No. 61010-1

SEMI S2 3)

Electrical connection D-sub, 15-pin, male
Setpoint

Number of setpoints

Relay contact

Hysteresis

2 (SP1, SP2)

≤30 V (dc) / ≤0.5 A (dc)

1 % FS

Diagnostic port

Protocol

Read

Set

RS232-C

pressure, status, ID

setpoints, filter, zero adjust, factory reset, DC offset

Materials exposed to vacuum ceramics (Al2O3), stainless steel (AISI 316L )
Internal volume ≤6.8 cm3
Weight 552 … 622 g

1) Non-linearity, hysteresis, repeatability at 25°C ambient operating temperature without temperature effects after two hours operation

2) Increase 10 … 90% FS

3) Ambient temperatures >40°C may increase surface temperature above SEMI S2 compliance levels — mark “caution hot!”

EtherCAT®
Protocol EtherCAT®
Communication standards Semiconductor Device Profile

ETG.5003 Part 1 Common Device Profile

ETG.5003 Part 2080 “Specific Device Profile – Vacuum Pressure Gauge”

Process Data Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT connector RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Cable

Cable length

Shielded Ethernet CAT5e or higher

≤100 m (330 ft.)

Data rate 100000 Kbps

 

THÔNG TIN DÒNG SẢN PHẨM

 

 

Đánh giá

Sản phẩm này chưa được đánh giá

Hãy là người đầu tiên đánh giá “INFICON Edge® CDG100D2”

    YÊU CẦU BÁO GIÁ



    Email us

    Zalo

    0865733288