INFICON ALD Sensor

INFICON ALD Sensor – Cảm biến QCM chuyên dụng cho công nghệ ALD nhiệt độ cao

INFICON ALD Sensor là dòng cảm biến Quartz Crystal Microbalance (QCM) được thiết kế chuyên biệt cho quy trình Atomic Layer Deposition (ALD). Sản phẩm mang lại độ lặp lại cao, độ chính xác vượt trội và độ bền lâu dài, ngay cả trong các môi trường vận hành khắc nghiệt.

Cảm biến có khả năng hoạt động ở nhiệt độ lên đến 450°C, phù hợp với các ứng dụng ALD nhiệt độ cao. Điểm nổi bật là điện cực tinh thể được nối đất hoàn toàn, giúp loại bỏ hiệu quả các vấn đề nhiễu điện, đảm bảo tín hiệu đo ổn định và chính xác.

Thiết kế chuyên biệt cho ALD

Một trong những cải tiến độc đáo của INFICON ALD Sensor là ống dẫn khí purge sử dụng khí trơ (thường là nitơ) để làm sạch phía sau tinh thể và khoang cảm biến. Cơ chế này giúp:

• Ngăn khí phản ứng xâm nhập vào đầu cảm biến
• Giữ cho mặt sau tinh thể và các tiếp điểm điện không bị bám vật liệu lắng đọng

Nhờ đó, cảm biến có thể thực hiện đo in-situ (đo trực tiếp trong buồng) trong những hệ thống mà QCM tiêu chuẩn không thể đáp ứng.

Kết nối Feedthrough linh hoạt

Cảm biến ALD của INFICON hỗ trợ:

• Chiều dài hàn tùy chỉnh theo yêu cầu
• Hoặc đầu nối nén (compression fitting) giúp điều chỉnh chiều dài mà không cần hàn hoặc brazing

Tất cả các cấu hình đều sử dụng feedthrough chuẩn CF40 (2¾ inch ConFlat®), đảm bảo tương thích với các hệ thống chân không phổ biến.

Tinh thể nhiệt độ cao – Đo lường chính xác hơn

Khi kết hợp với tinh thể thạch anh chịu nhiệt cao của INFICON, cảm biến ALD đạt được:

• Độ chính xác đo tốt hơn
• Giảm nhiễu tần số trong môi trường nhiệt độ cao

Các tinh thể được tối ưu cho các mức nhiệt 120°C, 240°C và 285°C, đồng thời có thể cung cấp thêm các tùy chọn khác theo yêu cầu ứng dụng cụ thể.

Tính năng nổi bật:

• Hoạt động ở nhiệt độ lên đến 450°C
• Đường khí purge giúp bảo vệ mặt sau tinh thể khỏi vật liệu lắng đọng
• Tùy chọn flange CF40 hàn sẵn (ConFlat®)
• Tùy chọn đầu nối nén O-ring linh hoạt
• Hỗ trợ tinh thể thạch anh chịu nhiệt cao cho độ chính xác tối ưu

Bạn cần báo giá cho INFICON ALD Sensor hoặc mã linh kiện cụ thể?

Hãy liên hệ ngay với phòng kỹ thuật của chúng tôi để được tư vấn chính xác nhất về cấu hình và phụ tùng thay thế.