INFICON SKY® CDG025D

Thương hiệu / Brand

Trademark: Inficon

Origin: Đức

Tình trạng

Mới 100%

Bảo hành

Tiêu chuẩn NSX

CHAT ZALO TƯ VẤN

BÁO GIÁ & TÀI LIỆU

✓ Đối tác ủy quyền chính hãng tại Việt Nam.

✓ Hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu tận nhà máy.

✓ Bảo hành & Hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn toàn cầu.

Đầu Đo Màng Điện Dung Inficon SKY® CDG025D

Dòng sản phẩm đầu đo mang điện dung Inficon SKY® CDG025D của áp kế bù nhiệt độ cao chính xác, được thiết kế để giữ được hiệu suất ổn định trong môi trường nhà máy sản xuất công cụ khắc nghiệt. Hệ thống điện tử kỹ thuật số tiên tiến cải thiện hiệu suất của sản phẩm. Ngoài ra, hệ thống cũng cung cấp các tính năng xử lý dễ dàng như chức năng trả về 0 với một nút bấm và điều chỉnh điểm đặt. Với cảm biến bằng gốm siêu tinh khiết, chống ăn mòn, đầu đo mang đến độ ổn định ở mức 0 tuyệt vời, cùng với tuổi thọ sử dụng cao trong vài triệu chu kỳ áp suất, kể cả đối với các vệt nổ tí tách trong không khí.

Cảm biến của đầu đo được trang bị một màn chắn riêng biệt, giúp bảo vệ đầu đo khỏi nhiễm bẩn trong quá trình sử dụng. Thiết kế cơ học mạnh mẽ và thiết bị điện tử kỹ thuật số cải thiện khả năng tương thích EMC, ổn định lâu dài và bù nhiệt độ chênh lệch. Dòng sản phẩm đầu đo mang điện dung SKY® CDG025D đặt ra một tiêu chuẩn mới trong tốc độ ổn định nhanh chóng ngay sau khi khởi động thiết bị, và phục hồi nhanh sau khi tiếp xúc với áp suất khí quyển.

Ưu Điểm

Quãng đo từ 100 mTorr… 1000 Torr
Ổn định nhanh sau khi bật nguồn
Phục hồi nhanh từ áp suất khí quyển
Cảm biến gốm chống ăn mòn
Tín hiệu ổn định lâu dài
Bù nhiệt độ chênh lệch
Cảm biến được bảo vệ kép khỏi ô nhiễm
Tính năng trả về 0 chỉ với một nút ấn
Cung cấp điện phạm vi rộng
2 điểm đặt
Giao diện RS232
Theo tiêu chuẩn phòng thí nghiệm khủ trùng

Ứng dụng

Thiết bị sản xuất bán dẫn cho Etch, CVD, PVD, ALD
Thiết bị sản xuất màn hình và lưu trữ dữ liệu
Thiết bị chân không công nghiệp
Đo áp suất chính xác cao nói chung

—-

Hystrong là Nhà Phân phối các thiết bị INFICON hàng đầu tại Việt Nam, với đội ngũ Kỹ Thuật Viên kinh nghiệm.
Liên hệ CTS Việt Nam để nhận tư vấn lắp đặt hệ thống phù hợp nhất! Liên hệ ngay>>>

Facebook: HystrongICL

Hotline: (+84) 865.733.288 (call/zalo)

Thông Số Sản Phẩm

Temperature effect
Type		1000 Torr / 1100 mbar	500 … 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
Accuracy (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
on zero	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
on span	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
Resolution	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
Pressure, max.	kPa (absolute)	400	260	260	130	130
Response time (2)	ms	30	30	30	130	130 / 30 ⁽³⁾
Lowest reading	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
Lowest suggested reading	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
Lowest suggested control pressure	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
Temperature
Operation (ambient)	°C	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50	+5 … +50
Bakeout at flange (4)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
Storage	°C	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65	–40 … +65
Supply voltage	V (dc)	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30	+14 … +30
Power consumption	W	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Output signal (analog)	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10	0 … +10
Degree of protection		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
Standards
CE conformity	CE conformity	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL certification	ETL certification	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Electrical connection		D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male
Setpoint
Number of setpoints	Number of setpoints	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
Relay contact		30	30	30	30	30
Hysteresis	percent FS	1	1	1	1	1
Materials exposed to vacuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)
Internal volume
I. volume 1/2” tube	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
I. volume DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
I. volume DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
I. volume 8 VCR®	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
Weight
Weight 1/2” tube	g	310	310	310	310	310
Weight DN 16 ISO KF	g	330	330	330	330	330
Weight DN 16 CF-R	g	350	350	350	350	350
Weight 8 VCR®	g	370	370	370	370	370